Insidix熱變形外貌檢測儀
Insidix公司，是法國著名的平整度特性測量,非破壞性測試提供全面解決方案的領導者，為全球微電子工業,半導體行業、及PCB(線路板生產)工業提供先進的基板及封裝測量解決方案。
INSIDIX TDM 運用Projection Moiré完美模擬Reflow狀態，實現平整度,共面性以及熱變型測量，得到樣品Warpage, Deformation,CTE Measure
TDM技術優勢
非接觸式雙面加熱, 上下表面溫差小
快速的升溫,降溫速率
完美的Reflow模擬
可同時測量warpage以及變形值, CTE等
可測量BGA ball以及leader共面性和變形值
測量精度高
可同時測量多個樣品
TDM主要技術參數
最大樣品尺寸: 600mmx 420mm
視場范圍: 10mmx10mm---400mmx400mm
視場深度: 40mm
溫度范圍: -60°C ~ +400°C
升溫速率: 最大6度每秒
降溫速率: 最大3度每秒
3Dcamera: 500萬像素
測量精度: +/-1 micron or 3% of measured value
Tenney 恒溫恒濕環境試驗箱
Tenney試驗箱是一個寬范圍的溫度和濕度調節多功能優化試驗箱
1，使用環境良好，耐用的制冷系統
2，有超過預設的限制條件，保證產品和人員的安全
3，控制器采用先進的液晶顯示屏，允許快速和容易的編程和配置
4，有很寬的范圍內的尺寸和型號來滿足特定的測試需求
5，控制精度：±0.3°C and ±2% RH
6，溫度范圍： -73°C to +200°C
7，濕度范圍： 20% to 98% RH
BlueM 系列烘箱
Blue M烘箱是工業應用爐，有許多型號及配置，可分為機械對流烘箱，潔凈烘箱和可通氣烘箱等等，可以應用于很多領域。
1，有2種溫度控制方式：單點設置跟Profile
2，各種負載條件下水平氣流的熱性能保證均勻
3， 雙室設計可徹底清洗內室
4，具有高容量的空氣輸送
5， 整個設備噪聲小
6，溫度范圍：15-704ºC
7，設備穩定性能好，均勻度： ±1%
8，在60分鐘內升到300°C
Asymtek點膠機
Quantum Q-6800系列
NSC離子蝕刻機
ES401
ES401反應式離子時刻系統可以蝕刻8寸晶圓。
ES401可以提供各項同性或各向異性兩種模式。
穩定的蝕刻速率和優秀的均勻性。
可以一次性蝕刻8寸的晶圓。
人性化的設計。
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